液体颗粒计数器检测电子级强酸强碱

1、单酸碱：硫酸、氨水、双氧水、磷酸、硝酸、盐酸、冰醋酸、氢氧化钾、氢氧化钠等。

2、作用：电子级强酸强碱多应用于半导体制造过程中对零部件的腐蚀和清洗，表面处理中。

3、SEMI等级标准：电子化学品的判定通常采用电子化学品SEMI国际标准等级表。

电子化学品SEMI国际标准等级表

SEMI等级

IC线宽

金属杂质

控制粒径

颗粒（个/mL）

C1

＞1.2

≤1000（1ppm）

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10（10ppb）

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0（1ppb）

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1（0.1ppb）

≤0.2

4、判定仪器和液样：

使用仪器：PMT-2液体颗粒计数器，防腐型，检测范围0.1-1.0um，检测粒径0.1、0.2、0.5、1.0um。

液样：硫酸、氢氧化钠

强酸碱液体颗粒计数器

5、检测结论：

看检测结果里的积分值，看≥0.1的粒子数量，≥0.2的粒子数量，≥0.5的粒子数量。参照数量的个数来判定所测样品达到那个级别的。

应用：化学品生产商一般在实验室使用离线取样检测的方式。抽取产线上数个液样，按照批次来进行检测。反应所生产液样的工艺是否达标。

6、注意事项：

确保仪器的准确性：在使用前应对仪器进行校准，以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染：清洗容器，避免容器壁上的颗粒进入检测液样；在百级清洁环境里进行检测，避免空气中的大颗粒进入检测液样。