珂玛科技申请加热器制备方法专利，解决了匹配不同大小晶圆的同时保证了导热性的要求

admin 2026-02-02 共14人围观，发现138个评论

金融界2024年1月9日消息，据国家知识产权局公告，苏州珂玛材料科技股份有限公司申请一项名为“一种适用于不同尺寸晶圆的加热器的制备方法“，公开号CN117364064A，申请日期为2022年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种适用于不同尺寸晶圆的加热器的制备方法，其特征在于，将所述陶瓷加热器制成分体结构，所述分体结构设置固定结构和可更换结构，所述固定结构为加热部件，所述可更换结构为晶圆承载件，根据不同尺寸的晶圆，更换所述晶圆承载件，在所述加热部件和所述晶圆承载件之间设置金属焊接层、气隙面或者有机硅胶层，本申请解决了匹配不同大小晶圆的同时保证了导热性的要求，结构简单，很大程度上降低了成本。