金融界2024年2月2日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“驱动装置、射频阻抗匹配器和射频等离子体系统“,公开号CN117501535A,申请日期为2021年9月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种驱动装置、射频匹配器和射频等离子体系统,该驱动装置包括:驱动电路,驱动电路与第一二极管连接,驱动电路用于导通第一二极管,第一二极管与第一电容连接,第一二极管用于控制第一电容的工作状态,该驱动电路包括有源器件;自偏压电路,自偏压电路的第一端口与第一二极管的正极连接,自偏压电路的第二端口与第一二极管的负极连接,该自偏压电路用于通过无源器件为该第一二极管的正极提供负向偏压。通过该驱动装置,本申请实施例能够有效降低驱动电路中负向电源的电压幅值需求,继而降低驱动电路的电路损耗,并能够增强对第一二极管的可靠关断性能。
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