阿维塔申请光罩检测专利，实现光罩的自动化检测，有效提高了光罩的检测效率及检测准确性

admin 2024-12-30 共4人围观，发现295个评论

金融界2024年3月4日消息，据国家知识产权局公告，阿维塔科技(重庆)有限公司申请一项名为“光罩的检测方法、测试工装及测试系统“，公开号CN117630019A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明实施例涉及设备测试技术领域，公开了一种光罩的检测方法、测试工装及测试系统，该方法包括：获取光罩在竖直方向的多个待测试点位，光罩放置在测试工装上，测试工装上设置有光源；控制测试工装带动光罩在竖直方向上运动至各个待测试点位；在各个待测试点位，控制测试工装带动光罩在各个待测试点位进行水平旋转，得到各个待测试点位对应的水平光斑图像；基于水平光斑图像的质心位置，确定光罩的检测结果。通过实施本发明的技术方案，实现了光罩的自动化检测，有效提高了光罩的检测效率及检测准确性。